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基于混合自组装膜的微型安培免疫传感器及其制备方法技术
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下载基于混合自组装膜的微型安培免疫传感器及其制备方法的技术资料
文档序号:3189094
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基于混合自组装膜的微型安培免疫传感器及制备方法,该传感器包括硅基底,氧化硅和氮化硅绝缘层,及在绝缘层上由内而外同心分布的圆形金薄膜工作电极、SU-8光刻胶围成的环形敏感膜池、环形铂薄膜对电极、环形铂薄膜参比电极、SU-8光刻胶围成的环形反应...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。
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