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本发明提出了一种晶圆片处理装置及其送气装置、晶圆片处理方法。送气装置包括：卡盘(10)，该卡盘(10)内部形成有多个气体通道(11)，每个气体通道(11)在卡盘(10)顶面形成有气孔(12)；多个柱脚(20)；所述多个柱脚(20)分别安装在...该专利属于广东汉岂工业技术研发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东汉岂工业技术研发有限公司授权不得商用。
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本发明提出了一种晶圆片处理装置及其送气装置、晶圆片处理方法。送气装置包括：卡盘(10)，该卡盘(10)内部形成有多个气体通道(11)，每个气体通道(11)在卡盘(10)顶面形成有气孔(12)；多个柱脚(20)；所述多个柱脚(20)分别安装在...