温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种恒温电迁移测试结构，以及一种通过修正得到这种结构的方法。常规用于测试的金属线结构从直角曲折或近似直角曲折形状被修改成拐弯处为圆弧形的圆角结构，通过这样的修改，可以解决原有结构因为薄膜电阻不均匀，而导致恒温电迁移测试不能正常进行...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。