下载导体层的制造方法的技术资料

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一种图案化导体层的制造方法,首先于基底上形成一层至少包含铝铜合金的导体层。然后,对此导体层进行一热处理工艺,将导体层加热至大于相变温度。接着再图案化导体层。此方法可以避免金属析出物的形成,有助于后续蚀刻工艺的进行。...
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