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提供下述的片状探针及其制造方法：即使对具有微小且微细间距的电极的电路装置也能达到稳定的连接状态，电极结构体不从绝缘膜脱落，可得到高的耐久性，对大面积的晶片或被检查电极的间距小的电路装置在老化试验中能可靠地防止因温度变化引起的电极结构体与被检...
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