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一种形成光刻用下层膜的组合物，其特征在于，含有聚合物和溶剂，所述聚合物是在构成聚合物的单元结构中具有摩尔比０．３以上的式（Ａ－１）所示的单元结构的聚合物，　　　　＊＊＊　　（Ａ－１）　　　　式中，Ｒ↓［１］表示氢原子或甲基，Ｘ表示卤原子，Ｙ...
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