下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:3185584

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本发明提供一种结构及其形成方法。该结构包括(a)包括在第一和第二S/D区之间设置的沟道区的半导体层;(b)在沟道区上的栅极电介质区;(c)在栅极电介质区上并通过栅极电介质区与沟道区电绝缘的栅极区;和(d)在栅极区上的保护伞状区,其中保护伞状...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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