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本发明提供了一种抗蚀底膜硬掩模层组合物，其中在某些实施方式中，硬掩模层组合物含有（ａ）由式１的化合物与式２的化合物反应制得的第一聚合物，其中ｎ为３－２０的数，Ｒ为一价有机基团，ｍ为０、１或２；（ｂ）包括式３－６所示结构中的至少一种结构的第二...
该专利属于第一毛织株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过第一毛织株式会社授权不得商用。

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