温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种检查试样表面的方法。该方法包括以下步骤：朝向试样表面方向产生多束初级射线束；将所述多束初级射线束聚焦在试样表面上的各个位置；收集由初级射线束入射到试样表面而产生的多束带电粒子的次级射线束；将所收集的次级射线束的至少之一转换成光...
该专利属于荷兰应用科学研究会（ＴＮＯ）所有，仅供学习研究参考，未经过荷兰应用科学研究会（ＴＮＯ）授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。