温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种基座（１０），设有用来在气相生长时收容晶片（Ｗ）的晶片凹部（１０１）。晶片凹部（１０１）至少具有晶片的外周部（Ｗ１）放置于其上的第１凹部（１０２）和在第１凹部之下形成的并具有小于第１凹部的直径的第２凹部（１０３）。基座（１０）...
该专利属于胜高股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过胜高股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。