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本发明提供用于制造具有任意的非球面、表面光滑的微透镜即具有透镜直径小于等于１ｍｍ、厚度大于等于０．５ｍｍ尺寸的非球面透镜的模具的制造方法，在单晶硅衬底上形成两层掩模层，使用第一掩模层进行各向异性腐蚀以及各向同性腐蚀，形成了直径比所希望的微透...
该专利属于株式会社日立制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立制作所授权不得商用。

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