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光探测器件及其制造方法技术
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文档序号:3183233
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一种光探测装置,包括:半导体衬底(101),其由作为基底材料的硅构成并包含预定浓度的碳;和外延层(102),其形成在半导体衬底(101)上并由作为基底材料的硅构成,该外延层(102)包括远离半导体衬底(101)预定距离的光探测单元(主要是1...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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