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本发明提供一种缺陷检查方法，所述缺陷检查方法适于检查在光掩模（５０）的主要图案（５６）中产生的缺陷。主要图案（５６）包括其中周期性排列有单元图案的重复图案。所述方法与主要图案（５６）的形成同时形成用于检查的辅助图案（５７）。辅助图案（５７）...
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