温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种光辅助ＭＢＥ系统及生长ＺｎＯ单晶薄膜的方法，属于半导体材料与器件领域。该系统包括在生长室（１）上，衬底（３）的对面或侧壁上，设置照射衬底（３）的光源（５）。该方法的步骤为：１．将清洗过的蓝宝石或石英衬底传入ＭＢＥ生长系统，打...
该专利属于北京交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。