下载金属微细线直径检测方法与装置的技术资料

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本发明公开了金属微细线直径检测方法与装置,其中方法包括如下步骤:A、构建测试系统,所述测试系统至少包括用于承载金属微细线样品的具有承载面的平台、用于获取检测信息的可移动的敏感件、以及连接到敏感件用于采集检测信息的反馈系统,所述承载面为导电的...
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