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公开一种将工件加热到期望的温度的系统及方法。此系统及方法在创建更高效地对工件进行加热的混合方法时考虑了温度器件的物理限制，例如时滞、温度偏差及校准。首先，使用开环控制对工件进行加热，以将工件加热到阈值温度。在达到阈值温度之后，利用闭环维持模...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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