下载具有用于感测元件的晶片级芯片规模封装的方法和设备的技术资料

文档序号:3182114

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本发明提出了制造传感器(100)的方法。该方法包括:在晶片上沉积第一预定厚度的牺牲材料(330),该晶片具有安装于其上的至少一个感测元件,所述牺牲材料至少部分地沉积在所述至少一个感测元件上;在晶片上并且围绕着所沉积的牺牲材料形成第二预定厚度...
该专利属于飞思卡尔半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过飞思卡尔半导体公司授权不得商用。

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