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本发明公开了在蚀刻工艺中用于对高孔径比应用形成各向异性特征图形的方法。这里所述的方法的优势在于通过侧壁钝化管理方案方便对具有高孔径比的特征图形进行轮廓以及尺寸控制。在一实施方式中，通过在蚀刻层的侧壁和／或底部上选择性形成氧化钝化层来管理侧壁...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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