下载发光二极管蒸着膜图案形成的制法及装置的技术资料

文档序号:3182083

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本发明涉及一种发光二极管蒸着膜图案形成的制法及装置,其制法包括下列步骤:a.将载具置于磁性吸附元件上方;b.将芯片放置于载具中;c.再把非磁性金属罩幕置于芯片表面,利用磁性吸附元件的磁力吸附非磁性金属罩幕,而夹住并固定芯片;以及d.将多个上...
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