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本发明提供的一种轴向沉积掺杂装置和粉末棒的制备方法。该装置包括沉积腔体，悬挂于所述沉积腔体顶部中心处的吊杆，深入所述沉积腔体的吊杆自由端装有靶棒，和设置在所述沉积腔体内的沉积掺杂机构，所述沉积掺杂机构包括集成有第一碱金属雾化装置的第一喷灯，...
该专利属于中天科技精密材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中天科技精密材料有限公司授权不得商用。

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