温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种图像传感器的像素结构及其形成方法,通过在像素子阵列之间设置有背面深槽隔离结构,同一像素子阵列内部的多个像素单元之间没有背面深槽隔离结构,使得像素子阵列内部相邻像素单元之间的高能离子注入隔离可以取消或者变窄,减少了高能离子注入所...该专利属于格科微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(上海)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种图像传感器的像素结构及其形成方法,通过在像素子阵列之间设置有背面深槽隔离结构,同一像素子阵列内部的多个像素单元之间没有背面深槽隔离结构,使得像素子阵列内部相邻像素单元之间的高能离子注入隔离可以取消或者变窄,减少了高能离子注入所...