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本发明披露一种用于干燥一盘状基材之部件，其包含：用于固定单一盘状基材的构件，用于供应冲洗液体至盘状基材表面上的构件，用于产生一气剂的构件及用于供应该气剂至盘状基材表面上的构件。还披露一种用于干燥一盘状基材之方法，其包含以下步骤：提供单一盘状...
该专利属于兰姆研究股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过兰姆研究股份公司授权不得商用。

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