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钽氮化物膜的形成方法，其特征在于，在真空室内，导入含有在钽元素（Ｔａ）的周围配位Ｎ＝（Ｒ，Ｒ′）（Ｒ及Ｒ′表示碳原子数１－６的烷基，各自可以是相同的基团，也可以是不同的基团）的配合物的原料气体以及含氧原子的气体，在基板上形成含有ＴａＯ↓［ｘ...
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