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一种在真空或多种气氛环境下的激光抛光系统及抛光方法技术方案
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下载一种在真空或多种气氛环境下的激光抛光系统及抛光方法的技术资料
文档序号:31808946
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本发明提供了一种在真空或多种气氛环境下的激光抛光系统及抛光方法,涉及激光加工技术领域,其中在真空或多种气氛环境下的激光抛光系统,其特征在于,包括:密封舱,密封舱内适于放置抛光试样,密封舱上设置有充气阀;真空泵,真空泵与密封舱相连接以抽取密封...
该专利属于哈尔滨工业大学(深圳)所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学(深圳)授权不得商用。
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