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磁性多层膜的制造方法技术
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文档序号:3180891
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一种磁性多层膜的制造方法,包括:在衬底上形成第1磁性层的第1磁性层形成工序;在所述第1磁性层上形成非磁性层的非磁性层形成工序;在所述非磁性层上形成第2磁性层的第2磁性层形成工序;其特征在于,该方法还包括等离子体处理工序,在所述非磁性层形成工...
该专利属于株式会社爱发科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱发科授权不得商用。
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