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将廉价的作为杂质包含于低纯度原料二乙基锌中的三乙基铝用作添加剂以降低膜形成的成本。将具有低纯度（９９．９９－９８％或９９．９９－９０％）的二乙基锌用作通过ＭＯＣＶＤ（金属有机化学汽相淀积）法制备ＺｎＯ透明导电膜的原料。将水蒸气（Ｈ↓［２］Ｏ...
该专利属于昭和砚壳石油株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过昭和砚壳石油株式会社授权不得商用。

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