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多重鳍状场效应晶体管及其制作方法技术
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文档序号:3180554
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一种多重鳍状场效应晶体管,包括衬底、氧化层、导体层、栅氧化层以及掺杂区。衬底被沟渠环绕,且预定形成栅极的区域的衬底中具有至少二鳍状硅层。氧化层配置于沟渠中,且氧化层的顶部表面低于鳍状硅层的顶部表面。导体层配置于预定形成栅极的区域中,导体层的...
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