下载焊料凸块的制造方法的技术资料

文档序号:3180158

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一种焊料凸块的制造方法,包括:提供一具有顶层金属的半导体衬底;在所述半导体衬底上形成钝化层;在所述钝化层上形成底部露出顶层金属的连接孔;在所述钝化层上及连接孔中形成第一金属层;在所述第一金属层上形成阻挡层;在所述阻挡层上旋涂光致抗蚀剂并形成...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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