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一种适于大规模生产的可变形镜的制造方法，包括如下步骤：沿着将要成为可变形镜的区域间的边界、在作为支撑基板（２）的第一晶圆（２０）和作为镜基板（３）的第二晶圆（３０）的表面上形成第一沟槽和第二沟槽；设置第一与第二晶圆，使支撑柱（５）和压电元件...
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