下载一种基于喷氦法的氦质谱检漏仪及辅助真空系统的技术资料

文档序号:31794604

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本发明公开了一种基于喷氦法的氦质谱检漏仪及辅助真空系统,涉及检测设备技术领域,检漏仪包括第一主机和第二主机以及支撑组件,还包括:定位组件,所述支撑组件包括支撑底座,用于对第一主机进行支撑,所述定位组件包括定位板,所述定位板表面相对设置夹持板...
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