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公开了一种形成欧姆接触的方法以及所得的欧姆接触结构。该方法包括步骤：在碳化硅表面上形成镍和硅的淀积膜，形成温度低于这两种元素中的任何一个与碳化硅发生反应的温度，并且它们各自的比例使得淀积膜中的硅原子分数大于镍原子分数，并将这种镍与硅的淀积膜...
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