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本申请提供了一种平面度检测装置，包括运动模组，运动模组上设有平面度测量头，平面度测量头的下部设有载具部件，载具部件上设有待检测工件，载具部件与送料机构连接；运动模组、送料机构固定在平台上；运动模组、送料机构、平面度测量头与控制装置连接；本实...
该专利属于天津博纳智动科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津博纳智动科技有限公司授权不得商用。

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