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一种液浸式曝光系统（１），通过在投影光学装置（１２１）的光学元件和衬底（１１１）之间配备的液体（３０１）来执行曝光过程。液浸式曝光系统（１）包括供给液体（３０１）的液体供给部分（８０）、将来自液体供给部分（８０）的液体（３０１（３０１ｂ））...
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