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本发明涉及载置台装置、图案形成装置以及物品的制造方法。为了提供能够在维持吞吐量的提高的同时抑制定位精度的降低的载置台装置，本发明所涉及的载置台装置具备：载置台；驱动部，驱动载置台；第1及第2放大器，分别将通过利用脉冲宽度调制控制及线性控制来...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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