下载相变化存储器及其制造方法的技术资料

文档序号:3178150

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种相变化存储器及其制造方法。该相变化存储器包括:基底;具有第一开口的第一介电层形成在该基底之上;第一电极形成在该第一开口内并填满该第一开口;柱状第二介电层直接形成在该第一电极之上;第一导电层形成在该柱状第二介电层的侧壁上,并与该第一电极电...
该专利属于财团法人工业技术研究院;力晶半导体股份有限公司;南亚科技股份有限公司;茂德科技股份有限公司;华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院;力晶半导体股份有限公司;南亚科技股份有限公司;茂德科技股份有限公司;华邦电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。