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本发明的化学机械研磨装置至少包括一个研磨头和一个用于清洗研磨头的清洗装置，该清洗装置至少包括一个与研磨头对应的冲水器和将水导入冲水器的液体通路，其中清洗装置中冲水器的长度大于研磨头底面的直径。此外，本发明中的清洗装置至少包括一个用于控制水压...
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