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P-I-N半导体二极管及其形成方法技术
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文档序号:3177727
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在半导体衬底上形成一种具有高纵横比的柱形p-i-n二极管的装置。通过在位于所述柱的每个末端处的P+区域与N+区域之间的本征或轻掺杂的区域(i区域)形成每一个器件。所述p-i-n二极管的装置被嵌入在光学透明介质中。对于给定的表面面积,所述柱p...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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