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半导体发光元件制造技术
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文档序号:3177438
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本发明提供光取出层的层厚没有变薄而被粗糙面化的半导体发光元件。对于这种半导体发光元件,具有包括活性层6和光取出层4的多个半导体层,具有反射金属膜层11,上述光取出层4包括组成比例不同的多个层23、24,这些多个层23、24均形成有用于使主表...
该专利属于日立电线株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立电线株式会社授权不得商用。
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