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一种具有气密地密封的凹腔（２２）以容纳微结构（２６）的微器件（２０）。该微器件（２０）包括衬底（３０）、帽盖（４０）、隔离层（７０）、至少一个导电岛（６０）和隔离沟槽（５０）。衬底（３０）具有其上形成有多个导电轨迹（３６）的顶部侧（３２）。...
该专利属于摩托罗拉公司所有，仅供学习研究参考，未经过摩托罗拉公司授权不得商用。

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