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公开了一种晶片检查用片状探测器及其应用：即使是被检查电极的间距极小的晶片，也能够确实实现良好电连接状态。本发明的晶片检查用片状探测器具有：按照与晶片上形成的全部或一部分集成电路中的被检查电极的图案对应的图案、形成有分别在厚度方向上延伸的多个...
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