下载工件收纳装置及工件收纳方法的技术资料

文档序号:3176716

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本发明涉及一种收纳工件即基板(W)的基板收纳装置(1),这样的基板收纳装置(1)具有:将基板(W)按搬入的顺序从上收纳的第一基板箱(10)、将第一基板箱(10)内收纳的基板(W)从下按顺序搬出的搬出输送机(3)、将用搬出输送机(3)搬运的基...
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