下载降低IC封装不良率的球形硅微粉的制备方法的技术资料

文档序号:31765005

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本发明公开了一种降低IC封装不良率的球形硅微粉的制备方法。所述方法先分别将不同粒径的角形硅微粉A1和A2进行加热球形化,得到不同粒径的球形硅微粉Q1、Q2、Q3、Q4,然后将球形硅微粉Q1、Q3加热处理后经过粗效分级去除大颗粒和团聚物,再经...
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