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一种用于抛光一工件的装置，该装置包括一个工件夹具（１０４），其被构造成能够夹持该工件的结构形式；一个抛光元件（１０２），其被构造成能够设置在工件的一表面附近以便通过该抛光元件的一正面抛光所述表面的结构形式；以及一个具有多个压力区（ｚ１－ｚ４...
该专利属于ASM纳托尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASM纳托尔公司授权不得商用。

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