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一种浅沟槽隔离工艺的监测版图，用于监测浅沟槽隔离的工艺窗口，包括：复数组图案用于监测刻蚀工艺窗口，每一组图案包括复数个间隔分布的线条图形和开口图形，线条图形用于形成有源区，开口图形用于形成浅沟槽隔离；一种应用所述监测版图监测浅沟槽隔离工艺窗...
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