下载一种液晶基板干燥装置的技术资料

文档序号:31762021

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本实用新型提出一种液晶基板干燥装置,包括:过滤装置,包括第一过滤单元,第二过滤单元,第三过滤单元及过滤组件;探测装置,包括温度探测装置及湿度探测装置,所述探测装置设置在所述过滤装置的一侧;处理装置,包括压缩装置,其设置在所述探测装置的一侧,...
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