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本发明提供由含有非离子性表面活性剂和铵化合物的碱性水溶液所构成的光致抗蚀剂显影液，其通过含有０．５～１０质量％规定的非离子性表面活性剂、０．０１～５．０质量％规定的铵化合物，即便在对厚膜抗蚀剂进行显影时也不会发生膜渣、可以形成良好图案。...
该专利属于株式会社德山所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社德山授权不得商用。

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