下载具有混合高介电材料层的电子元件及其制造方法的技术资料

文档序号:3174578

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本发明提供一种具有混合高介电材料层的电子元件及其制造方法。该电子元件包括基板,第一电极层设置于基板上。多层绝缘层包括第一介电层以及第二介电层,其中第一介电层与第二介电层之间互溶且实质上无界面存在。第二电极层设置于该多层绝缘层上。...
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