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半导体材料微纳多尺度功能表面激光造型方法，涉及微纳米材料制备和激光微加工技术领域，本发明的目的是以半导体材料为基体、通过多尺度表面微造型及微结构表面处理的系统性工艺设计，提供用于微结构表面超疏水功能化的飞秒激光制备方法与装备，以实现具有微米...
该专利属于江苏大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏大学授权不得商用。

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