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具有改善的电荷迁移率的电结构的结构及其制造方法技术
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文档序号:3174155
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本发明公开了一种增加电荷载流子迁移率的电结构及其制造方法。所述方法包括在半导体衬底上形成N型场效应晶体管器件和P型场效应晶体管器件;在所述N型场效应晶体管上方形成压应力膜,以便在与所述N型场效应晶体管器件相关的第一沟道中施加拉应力;并且在所...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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