下载具有改善的电荷迁移率的电结构的结构及其制造方法的技术资料

文档序号:3174155

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本发明公开了一种增加电荷载流子迁移率的电结构及其制造方法。所述方法包括在半导体衬底上形成N型场效应晶体管器件和P型场效应晶体管器件;在所述N型场效应晶体管上方形成压应力膜,以便在与所述N型场效应晶体管器件相关的第一沟道中施加拉应力;并且在所...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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