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本发明提供了一种用于在快速热处理工艺中实现均匀加热衬底的装置和方法。更具体地，本发明提供一种用于在快速热处理工艺中控制支撑衬底的边缘环的温度的装置和方法，以改善整个衬底上的温度均匀性。...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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